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一种超小型光子晶体调制器及其制作方法[发明专利]
2020-05-20
来源：锐游网
专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种超小型光子晶体调制器及其制作方法专利类型：发明专利
发明人：张宇光,肖希,王磊,李淼峰,胡晓,陈代高,冯朋,余少华申请号：CN201911393589.5申请日：20191230公开号：CN110989213A公开日：20200410
摘要：本发明涉及调制器技术领域，提供了一种超小型光子晶体调制器及其制作方法。方法包括N型中间掺杂区502置于N型重掺区501和N型轻掺杂区503之间；P型中间掺杂区602置于P型重掺区603和P型轻掺杂区601之间；N型轻掺杂区503和P型轻掺杂区601相接触，形成PN结；所述光子晶体波导4由宽度渐变的高折射率材料块排列在所述N型轻掺杂区503和P型轻掺杂区601的交接线上。本发明提供的超小型光子晶体调制器能够将入射光波限制在很小的范围内，从而提高光波与载流子的相互作用，提高调制器的调制效率；而且，该光子晶体调制器的结构尺寸很小，可以提高器件的集成度，降低制备成本。
申请人：武汉光谷信息光电子创新中心有限公司
地址：430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区关山街邮科院路88号1幢1-3层
国籍：CN
代理机构：深圳市爱迪森知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：何婷
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